В полупроводниковой промышленности химические насосы, клапаны и трубопроводные системы необходимы для безопасной работы со сверхчистыми и высококоррозионными химическими веществами, используемыми в процессах травления, очистки, нанесения покрытий и изготовления пластин. Высокая точность, отсутствие загрязнений и химическая стойкость имеют решающее значение для поддержания качества продукции и надежности процесса.
1. Перенос сверхчистых химических веществ
Химические насосы, включая насосы с магнитным приводом, диафрагменные насосы и центробежные насосы, используются для перекачивания кислот, щелочей и растворителей, таких как соляная кислота, серная кислота, азотная кислота и перекись водорода. Трубопроводы из ПВДФ, ПТФЭ или ПФА обеспечивают полное отсутствие загрязнений и поддерживают чистоту жидкости на протяжении всего процесса.
2. Процессы травления и нанесения покрытий
Коррозионностойкие клапаны и футеровочные насосы обеспечивают точный контроль потока химических веществ для травления, очистки и нанесения покрытий на полупроводниковые пластины. Точная дозировка и герметичность имеют решающее значение для предотвращения дефектов и обеспечения высокой производительности.
3. Дозирование химических реагентов и контроль pH.
Насосы и клапаны обеспечивают подачу точных количеств кислот, щелочей и нейтрализующих веществ для управления технологическими процессами, приготовления промывочных растворов и химических реагентов. Футерованные трубопроводы гарантируют безопасную работу с агрессивными химикатами при сохранении постоянной скорости потока.
4. Управление сточными водами и стоками
Химические насосы и коррозионностойкие трубопроводы используются для перекачки отработанных химикатов, промывочной воды и технологических сточных вод. Системы с тефлоновым или ПВДФ-покрытием предотвращают утечки и разложение химических веществ, обеспечивая соответствие экологическим нормам и безопасность на рабочем месте.
5. Совместимость с чистыми помещениями
Все оборудование для работы с химическими веществами, включая насосы, клапаны и трубопроводы, предназначено для использования в чистых помещениях. Гладкие поверхности, неметаллические контактирующие с жидкостью детали и конструкции без уплотнений предотвращают образование частиц и загрязнение в чувствительных полупроводниковых процессах.
6. Безопасность и надежность
Использование футеровочных химических насосов, коррозионностойких клапанов и трубопроводов высокой чистоты снижает риск утечек, коррозии оборудования и воздействия химических веществ. Эти системы обеспечивают непрерывную, безопасную и надежную работу в критически важных условиях производства полупроводников.
В заключение, химические насосы, клапаны и трубопроводы в полупроводниковой промышленности обеспечивают подачу высокочистых, коррозионностойких и точных химических веществ, способствуя безопасной работе, качеству продукции и надежности технологических процессов при изготовлении кремниевых пластин и связанных с ними процессах.
Оставить сообщение
Scan to wechat :
Scan to whatsapp :
